امروز

جمعه ۳۰ اردیبهشت ۱۴۰۱

آزمایشگاه میکرو ماشینMEMS Laboratory

تجهیزات آزمایشگاه تحقیقاتی MEMS  در فضایی به مساحت شصت مترمربع قرارگرفته اند. این فضا از نقطه نظر درجه تمیزی هوا به دو کلاس 1000 و 10000 تقسیم گردیده است. بطوریکه در فضای مربوط به کلاس 1000 تجهیزات مربوط به پروسه های لیتوگرافی قرار گرفته اند و درفضای مربوط به کلاس 10000 تجهیزات مربوط به لایه نشانی و لایه برداری جای داده شده اند. حال به شرح تک تک تجهیزات موجود در آزمایشگاه تحقیقاتی MEMS  می پردازیم.

 

تجهیزات آزمایشگاهیLaboratory Equipments

پروسه های لیتوگرافی در اتاقی به همین نام انجام می گیرد. از نقطه نظر تمیزی ، این اتاق دارای کلاس 1000 می باشد. فضای این اتاق از نقطه نظر مساحت دوازده متر مربع است. تجهیزات موجود در این اتاق عبارتند از:1-    دستگاه ماسک الاینر: بوسیله این دستگاه ، الگوهای مورد نظر به کمک نور UV از ماسک به ویفر منتقل می شود. دقت دستگاه یک میکرومتر است. عمل تنظیم بین الگوی روی ماسک و الگوی روی ویفر بوسیله دسته های تعبیه شده انجام می گیرد. کلیه مراحل تنظیم را می توان به کمک مانیتور دستگاه مدیریت کرد2-    دستگاه  spin coater : نشاندن فتورزیست روی ویفر به عنوان ماسک نهایی توسط این دستگاه صورت می گیرد. با دادن برنامه مناسب به دستگاه مذکور می توان انواع فتورزیست را روی ویفر با ضخامت دلخواه لایه نشانی کرد3-    Hot Plate : توسط این دستگاه ، فتورزیست نشانده شده روی ویفر مطابق کاتالوگ فتورزیست گرما دهی می شود. دقت این دستگاه یک درجه سانتیگراد است4-    هود شیمیایی: هود شیمیایی تعبیه شده در اتاق لیتوگرافی  صرفا برای develop  کردن و release  کردن فتورزیست است. و کارهای شیمیایی دیگر در هود شیمیایی دوم که خارج از اتاق لیتو گرافی قرار دارد انجام می گیرد.
تجهیزات مربوط به لایه نشانی در فضایی با درجه تمیزی 10000 قرارداده شده است. سه نوع لایه لایه نشانی به شرح زیر در این آزمایشگاه امکان پذیر می باشد.1-    لایه نشانی به روش اسپاترینگ DC : در این نوع لایه نشانی ابتدا چمبر دستگاه  به حالت وکیوم  برده می شود. سپس با اعمال گاز آرگون و ولتاژ به چمبر، پلاسما تشکیل شده و بدنبال آن عمل لایه نشانی به صورت کند و پاش آغاز می شود.  با این روش می توان اکثر فلزات را لایه نشانی کرد2-    لایه نشانی به روش اسپاترینگ RF : در این روش نیز ابتدا چمبر دستگاه  به حالت وکیوم برده می شود. سپس با اعمال گاز آرگون و توان مورد نظر به چمبر، پلاسما تشکیل شده و بدنبال آن عمل لایه نشانی به صورت کند و پاش آغاز می شود.  با این روش می توان علاوه بر فلزات ، مواد عایق را نیز لایه نشانی کرد3-     لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی : این روش نیازی به تشکیل پلاسما ندارد ولی مثل روش های دیگر  ابتدا چمبر دستگاه  به حالت وکیوم برده می شود. سپس با اعمال جریان به پودر فلزی قرار داده شده در Boat باعث تبخیر ماده فلزی و نهایتا لایه نشانی ماده مذکور در ویفر می شود.  
توسط این دستگاه آب خالص مورد نیاز جهت استفاده در بخش های لیتوگرافی و لایه برداری فراهم می گردد.
دستگاه میکروسکوپ نیروی اتمی در زمره دستگاه های اندازه گیری ، مشخصه یابی و ساخت قطعه درابعاد نانویی  در آزمایشگاه تحقیقاتی MEMS است. در بخش اندازه گیری این دستگاه قادر به اندازه گیری ابعاد قطعه در ابعاد نانویی و میکرونی تا 50 میکرومتر می باشد. همچنین دستگاه ضمن عکس برداری از سطح لایه نشانده شده قادر به شناسایی Morphology سطح لایه در ابعاد نانویی است. در حوزه مشخصه یابی امکان بررسی مشخصات الکتریکی سطح لایه توسط این دستگاه وجود دارد. در حوزه ساخت قطعات نانویی متخصصین کار های اولیه آزمایشگاهی را در این زمینه انجام داده اند و علم در این بخش هنوز در اوایل راه است

Pages