آزمایشگاه میکرو ماشینMEMS Laboratory
|
The MEMS Laboratory Was Set Up by Dr. Saeid Afrang in 2016 |
Dr. Saeid Afrang Lab Manager
دکتر سعید افرنگ مسئول آزمایشگاه
|
تجهیزات آزمایشگاه تحقیقاتی MEMS در فضایی به مساحت شصت مترمربع قرارگرفته اند. این فضا از نقطه نظر درجه تمیزی هوا به دو کلاس 1000 و 10000 تقسیم گردیده است. بطوریکه در فضای مربوط به کلاس 1000 تجهیزات مربوط به پروسه های لیتوگرافی قرار گرفته اند و درفضای مربوط به کلاس 10000 تجهیزات مربوط به لایه نشانی و لایه برداری جای داده شده اند. حال به شرح تک تک تجهیزات موجود در آزمایشگاه تحقیقاتی MEMS می پردازیم.
تجهیزات آزمایشگاهیLaboratory Equipments
|
لایه برداری تر: لایه برداری در این آزمایشگاه عمدتا توسط محلول های شیمیایی و بصورت تر انجام می گیرد. با استفاده از ترکیبات مشخص از محلول های موجود در آزمایشگاه امکان ساخت محلول های لایه بردار فلزات عایق ها و بعضی از پلیمرها وجود داردلایه برداری خشک : به کمک دستگاه لایه بردار خشک در آزمایشگاه امکان لایه برداری خشک فتورزیست با تشکیل پلاسمای اکسیژن وجود دارد. اهمیت این لایه برداری خاص از آن جهت است که در خیلی از موارد از فتورزیست به عنوان لایه قربانی در پروسه های MEMS استفاده می شود. و دقیق ترین روش برای برداشتن لایه قربانی استفاده از یون های اکسیژن جهت لایه برداری فتورزیست است.  |
|
توسط این دستگاه آب خالص مورد نیاز جهت استفاده در بخش های لیتوگرافی و لایه برداری فراهم می گردد.  |
