تجهیزات مربوط به لایه نشانی در فضایی با درجه تمیزی 10000 قرارداده شده است. سه نوع لایه لایه نشانی به شرح زیر در این آزمایشگاه امکان پذیر می باشد.1- لایه نشانی به روش اسپاترینگ DC : در این نوع لایه نشانی ابتدا چمبر دستگاه به حالت وکیوم برده می شود. سپس با اعمال گاز آرگون و ولتاژ به چمبر، پلاسما تشکیل شده و بدنبال آن عمل لایه نشانی به صورت کند و پاش آغاز می شود. با این روش می توان اکثر فلزات را لایه نشانی کرد2- لایه نشانی به روش اسپاترینگ RF : در این روش نیز ابتدا چمبر دستگاه به حالت وکیوم برده می شود. سپس با اعمال گاز آرگون و توان مورد نظر به چمبر، پلاسما تشکیل شده و بدنبال آن عمل لایه نشانی به صورت کند و پاش آغاز می شود. با این روش می توان علاوه بر فلزات ، مواد عایق را نیز لایه نشانی کرد3- لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی : این روش نیازی به تشکیل پلاسما ندارد ولی مثل روش های دیگر ابتدا چمبر دستگاه به حالت وکیوم برده می شود. سپس با اعمال جریان به پودر فلزی قرار داده شده در Boat باعث تبخیر ماده فلزی و نهایتا لایه نشانی ماده مذکور در ویفر می شود.
