دستگاه میکروسکوپ نیروی اتمی در زمره دستگاه های اندازه گیری ، مشخصه یابی و ساخت قطعه درابعاد نانویی در آزمایشگاه تحقیقاتی MEMS است. در بخش اندازه گیری این دستگاه قادر به اندازه گیری ابعاد قطعه در ابعاد نانویی و میکرونی تا 50 میکرومتر می باشد. همچنین دستگاه ضمن عکس برداری از سطح لایه نشانده شده قادر به شناسایی Morphology سطح لایه در ابعاد نانویی است. در حوزه مشخصه یابی امکان بررسی مشخصات الکتریکی سطح لایه توسط این دستگاه وجود دارد. در حوزه ساخت قطعات نانویی متخصصین کار های اولیه آزمایشگاهی را در این زمینه انجام داده اند و علم در این بخش هنوز در اوایل راه است
تصویر:
نام آزمایشگاه:
آزمایشگاه میکرو ماشین