پروسه های لیتوگرافی در اتاقی به همین نام انجام می گیرد. از نقطه نظر تمیزی ، این اتاق دارای کلاس 1000 می باشد. فضای این اتاق از نقطه نظر مساحت دوازده متر مربع است. تجهیزات موجود در این اتاق عبارتند از:1- دستگاه ماسک الاینر: بوسیله این دستگاه ، الگوهای مورد نظر به کمک نور UV از ماسک به ویفر منتقل می شود. دقت دستگاه یک میکرومتر است. عمل تنظیم بین الگوی روی ماسک و الگوی روی ویفر بوسیله دسته های تعبیه شده انجام می گیرد. کلیه مراحل تنظیم را می توان به کمک مانیتور دستگاه مدیریت کرد2- دستگاه spin coater : نشاندن فتورزیست روی ویفر به عنوان ماسک نهایی توسط این دستگاه صورت می گیرد. با دادن برنامه مناسب به دستگاه مذکور می توان انواع فتورزیست را روی ویفر با ضخامت دلخواه لایه نشانی کرد3- Hot Plate : توسط این دستگاه ، فتورزیست نشانده شده روی ویفر مطابق کاتالوگ فتورزیست گرما دهی می شود. دقت این دستگاه یک درجه سانتیگراد است4- هود شیمیایی: هود شیمیایی تعبیه شده در اتاق لیتوگرافی صرفا برای develop کردن و release کردن فتورزیست است. و کارهای شیمیایی دیگر در هود شیمیایی دوم که خارج از اتاق لیتو گرافی قرار دارد انجام می گیرد.
