لایه برداری تر: لایه برداری در این آزمایشگاه عمدتا توسط محلول های شیمیایی و بصورت تر انجام می گیرد. با استفاده از ترکیبات مشخص از محلول های موجود در آزمایشگاه امکان ساخت محلول های لایه بردار فلزات عایق ها و بعضی از پلیمرها وجود داردلایه برداری خشک : به کمک دستگاه لایه بردار خشک در آزمایشگاه امکان لایه برداری خشک فتورزیست با تشکیل پلاسمای اکسیژن وجود دارد. اهمیت این لایه برداری خاص از آن جهت است که در خیلی از موارد از فتورزیست به عنوان لایه قربانی در پروسه های MEMS استفاده می شود. و دقیق ترین روش برای برداشتن لایه قربانی استفاده از یون های اکسیژن جهت لایه برداری فتورزیست است.
تصویر:
نام آزمایشگاه:
آزمایشگاه میکرو ماشین