کپسول های گاز (Gas Capsules) توسط این دستگاه آب خالص مورد نیاز جهت استفاده در بخش های لیتوگرافی و لایه برداری فراهم می گردد. تصویر: نام آزمایشگاه: آزمایشگاه میکرو ماشین