تجهیزات آزمایشگاهی آزمایشگاه میکرو ماشین

  < لیتوگرافی (Cleanroom-Class 1000)

 

 

 

 

 

پروسه های لیتوگرافی در اتاقی به همین نام انجام می گیرد. از نقطه نظر تمیزی ، این اتاق دارای کلاس 1000 می   باشد. فضای این اتاق از نقطه نظر مساحت دوازده متر مربع است. تجهیزات موجود در این اتاق عبارتند از:

1- دستگاه ماسک الاینر: بوسیله این دستگاه ، الگوهای مورد نظر به کمک نور UV از ماسک به ویفر منتقل می شود.   دقت دستگاه یک میکرومتر است. عمل تنظیم بین الگوی روی ماسک و الگوی روی ویفر بوسیله دسته های تعبیه   شده انجام می گیرد. کلیه مراحل تنظیم را می توان به کمک مانیتور دستگاه مدیریت کرد

2- دستگاه spincoater: نشاندن فتورزیست روی ویفر به عنوان ماسک نهایی توسط این دستگاه صورت می گیرد.   با دادن برنامه   مناسب به دستگاه مذکور می توان انواع فتورزیست را روی ویفر با ضخامت دلخواه لایه نشانی کرد

3- Hot Plate: توسط این دستگاه ، فتورزیست نشانده شده روی ویفر مطابق کاتالوگ فتورزیست گرما دهی می   شود. دقت این   دستگاه یک درجه سانتیگراد است

4- هود شیمیایی: هود شیمیایی تعبیه شده در اتاق لیتوگرافی  صرفا برای develop کردن و release کردن فتورزیست است. و کارهای شیمیایی دیگر در هود شیمیایی دوم که خارج از   اتاق  لیتو گرافی قرار دارد انجام می گیرد. 

 < لیتوگرافی (Mask Aligner)

 

 

 

 

 

 < لیتوگرافی (ٍProgrammable spin coater)

 

 

 

 

 

 < لیتوگرافی (Hot Plate)

 

 

 

 

 

 < Probe Station

 

 

 

 

 

 < لایه نشانی (ٍRF/DC sputtering system)

 

 

 

 

 

تجهیزات مربوط به لایه نشانی در فضایی با درجه تمیزی 10000 قرارداده شده است. سه نوع لایه لایه نشانی به شرح زیر در این آزمایشگاه امکان پذیر می باشد.

1- لایه نشانی به روش اسپاترینگ DC : در این نوع لایه نشانی ابتدا چمبر دستگاه  به حالت وکیوم  برده می شود. سپس با اعمال گاز آرگون و ولتاژ به چمبر، پلاسما تشکیل شده و بدنبال آن عمل لایه نشانی به صورت کند و پاش آغاز می شود.  با این روش می توان اکثر فلزات را لایه نشانی کرد

2- لایه نشانی به روش اسپاترینگ RF : در این روش نیز ابتدا چمبر دستگاه  به حالت وکیوم برده می شود. سپس با اعمال گاز آرگون و توان مورد نظر به چمبر، پلاسما تشکیل شده و بدنبال آن عمل لایه نشانی به صورت کند و پاش آغاز می شود.  با این روش می توان علاوه بر فلزات ، مواد عایق را نیز لایه نشانی کرد

3- لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی : این روش نیازی به تشکیل پلاسما ندارد ولی مثل روش های دیگر  ابتدا چمبر دستگاه  به حالت وکیوم برده می شود. سپس با اعمال جریان به پودر فلزی قرار داده شده در Boat باعث تبخیر ماده فلزی و نهایتا لایه نشانی ماده مذکور در ویفر می شود.

 < لایه نشانی (ٍSputtering system)

 

 

 

 

 

 < دستگاه تولید آب خالص (DI Water System)

 

 

 

 

 

 

 < AFM (Atomic Force Microscopy)

 

 

 

 

 

دستگاه میکروسکوپ نیروی اتمی در زمره دستگاه های اندازه گیری ، مشخصه یابی و ساخت قطعه درابعاد نانویی  در آزمایشگاه تحقیقاتی MEMS است. در بخش اندازه گیری این دستگاه قادر به اندازه گیری ابعاد قطعه در ابعاد نانویی و میکرونی تا 50 میکرومتر می باشد. همچنین دستگاه ضمن عکس برداری از سطح لایه نشانده شده قادر به شناسایی Morphology سطح لایه در ابعاد نانویی است. در حوزه مشخصه یابی امکان بررسی مشخصات الکتریکی سطح لایه توسط این دستگاه وجود دارد. در حوزه ساخت قطعات نانویی متخصصین کار های اولیه آزمایشگاهی را در این زمینه انجام داده اند و علم در این بخش هنوز در اوایل راه است

 < هود (Hood- Class 100)